一、产品介绍

欧洲进口 SAINT-GOBAIN A2CH1 T12 004 高纯度波纹管泵，是面向半导体制造超高纯腐蚀性化学药液密闭输送场景打造的波纹管表层分区交错微织构储氟隔腐架构的快卡直装紧凑型超高纯无金属接触药液输送专用单元，没有沿用普通常规同规格高纯度波纹管泵依靠单一光滑无织构聚四氟乙烯波纹管的传统长期超高纯药液循环挤压后波纹管表面蠕变不均导致药液内泄漏量上升思路，而是在半导体晶圆制造湿法刻蚀超高纯药液闭环输送布设、光伏电池片生产高纯腐蚀性浆料定量供给这类对输送密封性能保持性长、长期抗超高纯药液蠕变腐蚀性能稳定要求严苛的场景需求层面做了波纹管表层分区交错微织构储氟隔腐架构布局专项优化，针对普通常规光滑无织构聚四氟乙烯波纹管高纯度波纹管泵长期超高纯药液循环挤压后波纹管表面蠕变不均、药液内泄漏量上升的常见问题做了波纹管表层分区差异化微织构储氟隔腐工艺升级的泵体快卡安装面自适应药液微量凝液疏导结构调整，不用在高纯度波纹管泵外侧波纹管附近额外配置独立的外置定期波纹管表面补涂维护装置就能在单台快卡直装单元上实现波纹管稳蠕隔腐和泵体快卡面药液微量凝液自主疏导的一体化超高纯无金属接触药液密闭输送作业，从根源上减少了普通常规高纯度波纹管泵长期超高纯药液循环挤压后内泄漏量持续增大的问题，在长期伴随半导体晶圆制造湿法刻蚀超高纯药液闭环输送布设、光伏电池片生产高纯腐蚀性浆料定量供给的使用场景下，也能持续维持稳定的长周期低内泄漏密封性能与长周期多超高纯药液复杂工况适配性能。

二、功能特点

波纹管表层分区交错微织构储氟隔腐性能

单元的高纯度波纹管泵的聚四氟乙烯波纹管和超高纯药液直接接触的工作表层没有采用传统的单一连续光滑无凹陷平整结构，而是在精密模压成型过程中在波纹管的不同功能区域加工出交错分布的微米级储氟隔腐微织构，不同分区的微织构走向沿着波纹管往复伸缩形变的延展方向交叉排布，超高纯药液推动波纹管持续往复伸缩完成增压输送的过程中，微织构的凹穴内部预填充的高纯度含氟惰性介质可以在波纹管持续往复挤压作用下缓慢向外微量渗出，在波纹管和超高纯药液的接触表面形成连续的高氟质隔腐薄层，大幅降低强腐蚀性药液向波纹管内部的渗透扩散效率，同时降低超高纯药液中夹带的细微高纯介质结晶颗粒在波纹管表面附着粘结的概率，不会出现普通常规光滑无织构波纹管长期超高纯药液循环挤压过程中局部形变区域快速蠕变腐蚀的情况，不用在高纯度波纹管泵的药液吸入口外侧额外配置独立的外置药液前置惰性保护层添加装置，就可以自主维持波纹管接触界面的低渗透隔腐状态，减缓波纹管长期运行过程中的不均匀蠕变腐蚀速度。

波纹管表层分区差异化微织构储氟隔腐性能

单元的不同波纹管区域的微织构分布密度按照波纹管往复伸缩形变过程中的拉伸应力分布规律差异化设置，波纹管中部形变核心拉伸区域微织构密度更高，波纹管两端非形变密封边缘区域微织构密度适当降低，不会出现普通常规均匀分布微织构结构边缘区域无效氟质堆积、核心形变区域隔腐介质供给不足的情况，不用额外定期拆解输送管路手动清理波纹管表面附着粘结的高纯药液结晶颗粒，就可以在全波纹管形变区域内持续维持均匀的高氟质隔腐薄层覆盖，提升全长期超高纯药液循环输送周期下的波纹管密封性能稳定性。

超高纯腐蚀性药液无脉动平稳输送性能

单元的高纯度波纹管泵的内部无金属接触流道和波纹管驱动回路经过半导体超高纯药液输送场景专项优化设计，在对应A2CH1 T12系列004规格的额定输送流量工作区间下依然可以实现超高纯腐蚀性药液的无脉动平稳输送，药液输送过程中的流量脉动控制在很小的区间内，药液输送的整体洁净度等级处于很高的水平，完全覆盖多数半导体制造超高纯腐蚀性药液的密闭输送需求，不需要在高纯度波纹管泵的药液排出口外侧额外串联更多数量的独立药液脉动缓冲稳压罐，就可以直接向后续湿法工艺管路输出稳定的无脉动超高纯药液流，适配半导体制造工艺的直接超高纯腐蚀性药液密闭输送需求。

泵体快卡安装面自适应药液微量凝液疏导性能

单元的高纯度波纹管泵的快卡连接端面和工艺管路快装接头对接的安装面位置设计了倾斜式自适应药液微量凝液疏导沟槽，长期使用过程中从快卡密封缝隙微量渗漏的超高纯药液遇冷形成的微量凝液顺着安装面向外流淌时，疏导沟槽可以引导大部分药液凝液顺着沟槽向泵体外侧的指定导液位置缓慢流出，避免药液凝液长时间堆积在快卡安装缝隙内部顺着快卡密封面大面积向外结晶附着，不会出现普通常规无疏导沟槽快卡安装面结构超高纯药液在快卡四周大量结晶堆积的情况，不用在泵体快卡安装缝隙外侧额外配置独立的外置环形残液收集密封圈，就可以自主将大部分药液凝液引导到指定位置集中收集，降低超高纯药液大量在快卡缝隙内部结晶堆积造成的泵体后期快装拆卸卡滞概率。

全高纯度PFA过流腔体抗强腐蚀药液侵蚀适配性能

单元的高纯度波纹管泵的整体过流腔体采用高纯度PFA氟塑料材料经过精密一体模压成型，泵体长期在带高纯药液结晶颗粒的强腐蚀性超高纯药液环境中工作的过程中，材料的抗强腐蚀药液渗透性能处于很高的水平，不会出现普通常规普通非金属腔体长期处于强腐蚀药液工况下表面容易出现介质溶出析出的情况，不用在泵体内腔过流表面额外贴附独立的外置高洁净耐腐防护衬层，就可以直接在长期复杂超高纯药液工况下长期运行，提升泵体整体的过流腔体抗药液渗透寿命。

内置波纹管驱动回路自适应药液温度热膨胀补偿性能

单元的高纯度波纹管泵的内部波纹管驱动腔的压力平衡回路集成了多段式药液温度热膨胀自适应补偿子单元，超高纯药液温度大幅升高导致腔体内部药液受热膨胀产生额外压力冲击作用在波纹管上时，补偿子单元可以自主吸纳热膨胀带来的额外压力增量，不会出现普通常规无热膨胀补偿高纯度波纹管泵超高纯药液大幅升温后波纹管异常受压导致的局部过度形变的情况，不用在高纯度波纹管泵的驱动腔回路外侧额外配置独立的外置压力膨胀缓冲罐，就可以自主完成全药液温度波动范围内的波纹管形变状态稳定修正，降低超高纯药液大幅升温带来的波纹管局部过度蠕变腐蚀概率。

标准半导体卫生级快卡直装便捷安装性能

单元的高纯度波纹管泵的药液进出口连接接口采用工业通用的标准半导体卫生级快卡连接结构设计，存量多数半导体湿法工艺管路上对应的标准规格卫生级快装接头都可以直接对位快卡固定，不会出现普通常规非标准连接接口高纯度波纹管泵无法直接适配存量半导体湿法工艺管路的情况，不用在半导体工艺管路侧壁金属壁上额外进行非标扩孔攻丝改造加工，就可以直接快装接头对位快卡连接，简化高纯度波纹管泵的现场安装更换流程。

标准工业同规格快卡直装高纯度波纹管泵通用接口适配性能

单元的高纯度波纹管泵的整体进出口快装接头规格、额定超高纯药液输送流量等级、驱动气源压力范围完全符合工业通用的同规格快卡直装高纯度波纹管泵的标准接口规范，存量多数半导体超高纯药液输送系统上对应的原有同系列高纯度波纹管泵安装位和配套驱动回路都可以直接对接替换，不需要额外配置复杂的中间转接构件就可以直接安装对接，不会出现普通常规非标准接口的高纯度波纹管泵无法直接适配存量半导体超高纯药液输送系统的情况，不用额外定制非标卫生级快装转接接头，就可以直接替换接入原有半导体超高纯药液输送系统，简化高纯度波纹管泵的现场更换流程。

三、选型指南

匹配目标输送场景的基础实际超高纯药液输送系统要求的额定药液输送流量范围和配套半导体工艺管路的卫生级快装接头规格需求

先确认超高纯药液输送系统要求的额定药液输送流量范围和配套半导体工艺管路的卫生级快装接头规格，当前标准常规药液输送流量区间、常规标准半导体卫生级快装接头适配的多数常规半导体制造超高纯腐蚀性药液密闭输送场景直接选用这款欧洲进口SAINT-GOBAIN A2CH1 T12 004 高纯度波纹管泵标准版本即可满足使用需求，药液输送流量范围和快装接头规格超出常规范围的特殊大流量半导体湿法清洗药液密闭输送场景，可选用同系列对应更大输送流量适配大流量湿法工艺优化的适配版本，进一步提升设备的最大允许药液输送能力和大流量工况下的输送稳定性，满足特殊大流量半导体湿法清洗药液密闭输送场景的使用需求。

匹配现场实际工况的长期所处现场的常规波纹管泵周边的环境洁净等级和输送系统日常运行过程中的实际单位小时波纹管往复伸缩循环次数需求

确认高纯度波纹管泵长期安装位置周边的实际环境洁净等级和输送系统日常运行过程中的单位小时波纹管往复伸缩循环次数，当前标准常规半导体洁净车间环境、常规往复伸缩循环次数适配的多数半导体产线现场场景直接选用当前标准版本即可满足使用需求，环境洁净等级和波纹管往复伸缩循环次数超出常规范围的极端恶劣工况，可选用同系列对应更高防护等级和更高抗长期蠕变腐蚀寿命升级优化的适配版本，进一步提升整套高纯度波纹管泵的整体环境耐受能力，适配极端超高洁净超高频次往复伸缩循环工况下的长期稳定运行需求。

适配现场安装点位的实际原有存量半导体超高纯药液输送系统的波纹管泵预留快装接头安装尺寸和现场配套驱动气源的额定压力等级需求

提前确认当前原有存量半导体超高纯药液输送系统的波纹管泵预留快装接头安装尺寸和现场配套驱动气源的额定压力等级，当前标准标准卫生级快卡直装、常规工业驱动气源压力适配的多数存量常规半导体超高纯药液输送系统场景直接选用当前标准版本即可满足使用需求，快装接头尺寸和驱动气源压力等级超出常规范围的老旧非标半导体湿法工艺输送系统改造场景，可选用同系列对应适配不同快装接头规格和不同驱动压力范围的适配版本，进一步适配原有老旧非标半导体湿法工艺输送系统的安装和气源对接要求，适配存量老旧工业高纯度波纹管泵替换改造的场景。

适配高等级先进制程12英寸晶圆制造超高纯氢氟酸密闭输送特殊工况需求

如果是用于长期在高等级先进制程12英寸晶圆制造湿法管路上进行超高纯氢氟酸密闭输送的场景，可直接选用同系列对应增强型超高洁净无金属析出高耐强腐蚀专用构型的适配版本，在保障基础波纹管表层分区交错微织构储氟隔腐性能的前提下进一步提升单元整体的先进制程12英寸晶圆超高洁净强腐蚀特殊场景适配等级，满足高等级先进制程12英寸晶圆制造超高纯氢氟酸密闭输送工况下的长期稳定使用要求。

四、技术参数

欧洲进口 SAINT-GOBAIN A2CH1 T12 004 高纯度波纹管泵，采用波纹管表层分区交错微织构储氟隔腐架构搭配波纹管表层分区差异化微织构储氟隔腐工艺布局，面向半导体制造超高纯腐蚀性化学药液密闭输送场景打造的波纹管表层分区交错微织构储氟隔腐架构的快卡直装紧凑型超高纯无金属接触药液输送专用单元，适配对应A2CH1 T12系列该型号高纯度波纹管泵备件的标准参数，将波纹管泵从外包装中取出，确认泵体的PFA氟塑料外壳、波纹管组件、进出口快装接头没有在运输过程中出现磕碰变形划伤的情况，清理干净半导体湿法工艺管路快装接头连接位置残留的杂物，确认管路快装接头密封端面平整没有明显的凸起毛刺，将高纯度波纹管泵的进出口快装接头对准工艺管路上预先安装好的快装接头位置平稳对位，确认波纹管泵的药液进出口和工艺管路内部预设输送通道完全对齐，套入半导体卫生级快卡并均匀拧紧快卡紧固螺栓，确认快卡的密封端面和两侧快装接头的密封表面完全均匀贴合，没有出现局部间隙过大导致超高纯药液顺着快卡缝隙向外渗漏的情况，确认高纯度波纹管泵周边没有遗留任何安装杂物，将波纹管泵的驱动气口对接配套驱动气源的输送管路，确认所有气路连接状态牢固，没有出现管路松动的情况，确认所有外围药液输送回路状态正常，没有出现回路堵塞的情况，缓慢通入额定压力的驱动气源，核对波纹管泵内部波纹管开始平稳往复伸缩形变，没有出现明显的运行异响，逐步提升驱动气源的压力到额定工作区间，核对波纹管泵输出的超高纯药液流平稳进入后续湿法工艺管路，药液输送过程中的流量稳定性良好，没有出现明显的流量大幅脉动，模拟波纹管泵长期在大量高纯药液结晶颗粒的强腐蚀性药液循环挤压工况下运行的情况，核对波纹管表层交错分布的微米级储氟隔腐微织构内部预填充的高纯度含氟惰性介质可以在波纹管持续往复挤压作用下缓慢向外微量渗出，在波纹管和超高纯药液的接触表面形成连续的高氟质隔腐薄层，强腐蚀性药液向波纹管内部的渗透扩散效率得到有效降低，超高纯药液中夹带的细微高纯介质结晶颗粒在波纹管表面附着粘结的概率被大幅降低，波纹管长期运行过程中的不均匀蠕变腐蚀速度被有效减缓，不需要在高纯度波纹管泵的药液吸入口外侧额外配置独立的外置药液前置惰性保护层添加装置就可以自主维持波纹管接触界面的低渗透隔腐状态，不同分区的微织构分布密度按照波纹管往复伸缩形变过程中的拉伸应力分布规律差异化设置，波纹管中部形变核心拉伸区域微织构密度更高，两端非形变密封边缘区域微织构密度适当降低，中部核心形变区域的隔腐介质供给更加充足，不会出现核心形变区域隔腐介质供给不足的情况，全波纹管形变区域内的高氟质隔腐薄层覆盖状态始终保持均匀稳定，模拟长期使用过程中从快卡密封缝隙微量渗漏的超高纯药液遇冷形成的微量凝液顺着安装面向外流淌的工况，核对泵体快卡安装面处的倾斜式自适应药液微量凝液疏导沟槽可以引导大部分药液凝液顺着沟槽向泵体外侧的指定导液位置缓慢流出，药液凝液不会长时间堆积在快卡安装缝隙内部顺着快卡密封面大面积向外结晶附着，快卡缝隙内部的药液凝液结晶堆积量始终处于很低的范围，不用在泵体快卡安装缝隙外侧额外配置独立的外置环形残液收集密封圈就可以自主将大部分药液凝液引导到指定位置集中收集，高纯度PFA氟塑料材料加工的波纹管泵整体过流腔体长期在带高纯药液结晶颗粒的强腐蚀性超高纯药液环境中工作时，材料的抗强腐蚀药液渗透性能处于很高的水平，不容易出现长期处于强腐蚀药液工况下表面介质溶出析出的情况，高纯度波纹管泵内部波纹管驱动腔的压力平衡回路集成的多段式药液温度热膨胀自适应补偿子单元可以在超高纯药液温度大幅升高导致腔体内部药液受热膨胀产生额外压力冲击作用在波纹管上时自主吸纳热膨胀带来的额外压力增量，不需要在高纯度波纹管泵的驱动腔回路外侧额外配置独立的外置压力膨胀缓冲罐就可以自主完成全药液温度波动范围内的波纹管形变状态稳定修正，反复多次不同药液输送温度下的输送测试确认波纹管泵的输送状态稳定无异常，连续长时间强腐蚀高结晶药液工况下运行后波纹管泵的内泄漏量没有出现明显的增大，超高纯腐蚀性药液平稳输送的一致性始终保持良好，确认所有功能正常后即可正式投入半导体超高纯药液输送系统长期使用，分区差异化微织构匹配波纹管拉伸应力分布渗出高氟质惰性介质形成连续隔腐薄层，倾斜疏导沟槽引导大部分渗漏药液凝液向泵体外侧指定导液位置排出，高纯度PFA氟塑料腔体抵御强腐蚀药液下的表面介质溶出析出，多段式热膨胀补偿吸纳药液升温带来的额外压力增量，快卡对位、驱动气路校验、输送性能标定、强腐蚀高结晶药液模拟核验的全流程可同步完成，设计符合工业用高纯度波纹管泵的相关行业技术规范，适配的常规系列型号欧洲进口SAINT-GOBAIN该型号高纯度波纹管泵的参数覆盖多数半导体制造超高纯腐蚀性化学药液密闭输送场景的运行条件，长期伴随半导体晶圆制造湿法刻蚀超高纯药液闭环输送布设、光伏电池片生产高纯腐蚀性浆料定量供给的使用场景下运行状态的稳定性处于可控范围，适配各类半导体制造超高纯腐蚀性化学药液密闭输送场景配套专用波纹管表层分区交错微织构储氟隔腐架构的快卡直装紧凑型超高纯无金属接触药液输送专用单元的使用需求。

五、产品尺寸

核心超高纯无金属接触药液输送功能单元本体尺寸

单元的整体紧凑型快卡直装高纯度波纹管泵轮廓按照工业标准同系列A2CH1 T12系列该型号快卡直装高纯度波纹管泵的常规紧凑尺寸专项优化，内部带交错微织构的波纹管、倾斜药液微量凝液疏导沟槽、波纹管驱动回路的布局组合完全适配多数半导体湿法工艺管路的标准高纯度波纹管泵预留卫生级快装接头安装位，整台单元的高纯度波纹管泵的整体进出口快装接头规格、泵体本体总轴向长度、驱动气口外伸尺寸对应的外形参数控制在适配同系列SAINT-GOBAIN流体输送元件的合理范围，安装完成后高纯度波纹管泵的整体外轮廓不会和湿法工艺管路周边排布的其他半导体输送设备发生空间干涉的情况，保障常规半导体制造超高纯腐蚀性化学药液密闭输送场景下的单元布设适配性。

配套关联安装与功能结构基准参数

单元的高纯度波纹管泵适配的对应标准工业同规格快卡直装高纯度波纹管泵的常规安装适配参数、适配的对应推荐常规额定最大允许连续运行的环境温度参考参数、波纹管泵的常规允许最长连续不间断在线药液输送运行时长参考值，完全符合同系列SAINT-GOBAIN流体输送元件的通用安装规范，不用在原有半导体湿法工艺管路侧壁金属壁上为高纯度波纹管泵额外进行非标扩孔攻丝改造加工，就能直接完成整套波纹管泵的快卡对位与输送性能标定，实现波纹管稳蠕隔腐和泵体快卡面药液微量凝液自主疏导一体化超高纯无金属接触药液密闭输送作业核心功能单元的快速布设替换。

六、应用领域

半导体晶圆制造湿法刻蚀超高纯药液闭环输送布设场景

适配各类半导体晶圆制造湿法刻蚀超高纯药液的闭环输送布设作业，波纹管表层分区交错微织构储氟隔腐性能微织构渗出高纯度含氟惰性介质形成连续隔腐薄层降低药液渗透效率，无需配置药液吸入口外侧独立外置药液前置惰性保护层添加装置，减缓波纹管不均匀蠕变腐蚀速度，波纹管表层分区差异化微织构储氟隔腐性能优化微织构密度分布匹配波纹管拉伸应力，无需定期拆解管路手动清理波纹管表面药液结晶，提升全药液输送周期密封性能稳定性，半导体产线运维人员不用在高纯度波纹管泵的药液吸入口外侧额外配置独立的外置药液前置惰性保护层添加装置，不用额外定期拆解输送管路手动清理波纹管表面附着粘结的高纯药液结晶颗粒，减缓波纹管长期运行过程中的不均匀蠕变腐蚀速度。

光伏电池片生产高纯腐蚀性浆料定量供给场景

适配各类光伏电池片生产高纯腐蚀性浆料的定量供给作业，超高纯腐蚀性药液无脉动平稳输送场景专项优化实现无脉动平稳输送，无需在药液排出口外侧串联更多独立药液脉动缓冲稳压罐，直接输出稳定无脉动药液流，泵体快卡安装面自适应药液微量凝液疏导性能倾斜疏导沟槽引导大部分药液凝液向指定导液位置流出，无需在快卡缝隙外侧配置独立外置环形残液收集密封圈，降低药液结晶堆积概率，光伏产线运维人员不用在高纯度波纹管泵的药液排出口外侧额外串联更多数量的独立药液脉动缓冲稳压罐，不用在泵体快卡安装缝隙外侧额外配置独立的外置环形残液收集密封圈，适配半导体制造工艺的直接超高纯腐蚀性药液密闭输送需求。

大型大型平板显示面板生产超高纯显影液密闭输送场景

适配各类大型大型平板显示面板生产超高纯显影液的密闭输送布设作业，全高纯度PFA过流腔体抗强腐蚀药液侵蚀适配性能高纯度PFA氟塑料腔体提升腔体抗药液渗透性能，无需在过流表面贴附独立外置高洁净耐腐防护衬层，抵御强腐蚀药液下表面介质溶出析出，内置波纹管驱动回路自适应药液温度热膨胀补偿性能多段式补偿子单元吸纳药液升温带来的额外压力增量，无需在驱动腔回路外侧配置独立外置压力膨胀缓冲罐，降低波纹管局部过度蠕变腐蚀概率，面板产线运维人员不用在泵体内腔过流表面额外贴附独立的外置高洁净耐腐防护衬层，不用在高纯度波纹管泵的驱动腔回路外侧额外配置独立的外置压力膨胀缓冲罐，提升泵体整体的过流腔体抗药液渗透寿命。

大型大型生物制药高纯腐蚀性试剂密闭输送场景

适配各类大型大型生物制药高纯腐蚀性试剂的密闭输送作业，标准半导体卫生级快卡直装便捷安装性能标准快卡直连存量工艺管路快装接头位，无需在管路上进行非标扩孔攻丝改造，简化现场安装流程，标准工业同规格快卡直装高纯度波纹管泵通用接口适配性能标准接口直连存量超高纯药液输送系统，无需定制非标卫生级快装转接接头，简化现场更换流程，生物制药产线运维人员不用在半导体湿法工艺管路侧壁金属壁上额外进行非标扩孔攻丝改造加工，不用额外定制非标卫生级快装转接接头，简化高纯度波纹管泵的现场安装更换流程。

七、总结

欧洲进口 SAINT-GOBAIN A2CH1 T12 004 高纯度波纹管泵，凭借波纹管表层分区交错微织构储氟隔腐设计、波纹管表层分区差异化微织构储氟隔腐的差异化设计，解决了普通常规高纯度波纹管泵长期超高纯药液循环挤压后波纹管表面蠕变不均、药液内泄漏量上升的常见痛点，超高纯腐蚀性药液无脉动平稳输送性能、泵体快卡安装面自适应药液微量凝液疏导性能的特性覆盖了半导体晶圆制造湿法刻蚀超高纯药液闭环输送布设、光伏电池片生产高纯腐蚀性浆料定量供给、大型大型平板显示面板生产超高纯显影液密闭输送等多类半导体制造超高纯腐蚀性化学药液密闭输送场景配套的专用波纹管表层分区交错微织构储氟隔腐架构的快卡直装紧凑型超高纯无金属接触药液输送专用单元的使用需求，在工业高纯度波纹管泵应用领域拥有广泛的落地适配空间，是一款针对长期强腐蚀高洁净复杂药液输送工况场景、配置独立的外置定期波纹管表面补涂维护装置维护需求、存量普通常规高纯度波纹管泵升级替换适配场景深度优化的实用型专用工业配套波纹管表层分区交错微织构储氟隔腐架构的快卡直装紧凑型超高纯无金属接触药液输送专用单元。

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